Is teicníc í an litagrafaíocht chun patrún deartha a aistriú go díreach nó trí mheán idirmheánach go dromchla comhréidh, seachas codanna den dromchla nach dteastaíonn patrún uathu. I liteagrafaíocht masc, priontáiltear dearaí ar shubstráit agus nochtar iad leléasairionas go mbeidh an t-ábhar taiscthe eitseáilte ar shiúl, réidh le haghaidh tuilleadh próiseála. Úsáidtear an modh liteagrafaíochta seo go forleathan i olltáirgeadh sliseog leathsheoltóra. Tá an cumas chun íomhánna géara de ghnéithe beaga a theilgean ar ghránán teoranta ag tonnfhad an tsolais a úsáidtear. Úsáideann na huirlisí liteagrafaíochta is úire inniu solas ultraivialait domhain (DUV), agus sa todhchaí leanfaidh na tonnfhaid seo ag dul thar ultraivialait domhain (193 nm), ultraivialait i bhfolús (157 nm agus 122 nm), agus ultraivialait mhór (47 nm agus 13 nm ). Mhéadaigh táirgí casta agus athruithe dearaidh go minic do mhargaí IC, MEMS, agus bithleighis - áit a bhfuil an t-éileamh ar fheidhmeanna agus méideanna foshraithe éagsúla ag méadú - costas déantúsaíochta na réitigh ard-shaincheaptha seo agus méideanna táirgeachta á laghdú. Níl réitigh liteagrafaíochta traidisiúnta masc-bhunaithe (masc) éifeachtach ó thaobh costais nó praiticiúil do go leor de na feidhmchláir seo, áit ar féidir leis an gcostas agus an t-am a theastaíonn chun líon mór feisteáin masc a dhearadh agus a mhonarú méadú go tapa. Mar sin féin, ní chuirtear isteach ar iarratais liteagrafaíochta gan masc mar gheall ar an ngá atá le tonnfhaid UV an-ghearr, agus ina ionad sin úsáidtear iadléasairfoinsí sna raonta gorm agus UV. I liteagrafaíocht gan masc,léasairgineann struchtúir micrea / nana go díreach ar dhromchla ábhair fhótaileictreach. Níl an modh liteagrafaíochta ildánach seo ag brath ar earraí inchaite masc agus is féidir athruithe ar leagan amach a dhéanamh go tapa. Mar thoradh air sin, bíonn sé níos éasca fréamhshamhlú agus forbairt thapa a dhéanamh, le níos mó solúbthachta dearaidh, agus an buntáiste a bhaineann le clúdach mór ceantair a choinneáil (mar shampla sliseoga leathsheoltóra 300mm, taispeántais painéal comhréidh nó PCBS). Chun riachtanais na táirgeachta gasta a chomhlíonadh,léasaira bhfuil tréithe comhchosúla acu le haghaidh liteagrafaíochta gan masc agus iad siúd a úsáidtear le haghaidh feidhmeanna masc: Tá cumhacht fadtéarmach agus cobhsaíocht tonnfhaid, leithead líne chúng agus athrú beag masc ag foinse solais tonn leanúnach. Tá cobhsaíocht fhad saoil gan mórán cothabhála nó cur isteach ar thimthriallta táirgeachta tábhachtach don dá fheidhmchlár. Tá línelíne caol ultra-chobhsaí, cobhsaíocht tonnfhaid agus cobhsaíocht chumhachta ag léasair DPSS, agus tá sé oiriúnach do dhá mhodh liteagrafaíochta. Déanaimid léasair ardchumhachta, aonmhinicíochta a dhearadh agus a mhonarú le cobhsaíocht tonnfhaid gan sárú, leithead líne chúng agus lorg beag thar raon tonnfhaid faid thirim fhada - rud a fhágann go bhfuil siad an-oiriúnach do chomhtháthú i gcórais atá ann cheana.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
