Teicníc is ea liteagrafaíocht chun patrún deartha a aistriú go díreach nó trí mheán idirmheánach isteach ar dhromchla réidh, gan limistéir den dromchla nach dteastaíonn patrún uathu a áireamh. I liteagrafaíocht masc, clóitear dearaí ar fhoshraith agus nochtar iad le aléasairionas go mbeidh an t-ábhar taiscthe eitseáilte ar shiúl, réidh le haghaidh próiseála breise. Úsáidtear an modh liteagrafaíocht seo go forleathan i dtáirgeadh mais sliseog leathsheoltóra. Tá an cumas chun íomhánna géara de ghnéithe beaga a theilgean ar sliseog teoranta ag tonnfhad an tsolais a úsáidtear. Úsáideann na huirlisí liteagrafaíochta is úire inniu solas ultraivialait dhomhain (DUV), agus sa todhchaí leanfaidh na tonnfhaid seo ar aghaidh ag dul thar ultraivialait dhomhain (193 nm), ultraivialait bhfolús (157 nm agus 122 nm), agus ultraivialait mhór (47 nm agus 13 nm). ). Chuir táirgí casta agus athruithe dearaidh go minic do IC, MEMS, agus margaí bithleighis -- áit a bhfuil an t-éileamh ar éagsúlacht feidhmeanna agus méideanna foshraitheanna - méadú ar chostas déantúsaíochta na réitigh ard-saincheaptha seo agus ag an am céanna laghdú ar líon na táirgeachta. Níl réitigh traidisiúnta liteagrafaíocht masc-bhunaithe (masc) cost-éifeachtach nó praiticiúil i gcás go leor de na feidhmchláir seo, áit ar féidir méadú go tapa ar an gcostas agus ar an am a theastaíonn chun líon mór feisteáin masc a dhearadh agus a mhonarú. Mar sin féin, ní chuireann an gá atá le tonnfhaid UV an-ghearr isteach ar iarratais liteagrafaíochta gan masc, agus ina ionad sin úsáidléasairfoinsí sna raonta gorm agus UV. I liteagrafaíocht gan masc,léasairgineann micreastruchtúir/nana struchtúir go díreach ar dhromchla ábhar fóta-íogair. Níl an modh liteagrafaíocht ilúsáideach seo ag brath ar earraí inchaite masc agus is féidir athruithe ar an leagan amach a dhéanamh go tapa. Mar thoradh air sin, éiríonn fréamhshamhlú tapa agus forbairt níos éasca, le solúbthacht dearaidh níos mó, agus an buntáiste a bhaineann le clúdach limistéar mór a choinneáil (cosúil le sliseog leathsheoltóra 300mm, taispeántais painéil chomhréidh nó PCBS). Chun freastal ar riachtanais an táirgeadh tapa,léasairtá tréithe comhchosúla ag baint le tréithe a úsáidtear le haghaidh liteagrafaíocht gan masc leo siúd a úsáidtear le haghaidh feidhmeanna masc: Tá cumhacht fadtéarmach agus cobhsaíocht tonnfhad, leithead líne caol agus athrú beag masc ag foinse solais tonn leanúnach. Tá cobhsaíocht fhadsaoil gan mórán cothabhála nó cur isteach ar thimthriallta táirgthe tábhachtach don dá fheidhm. Tá líneáil caol ultra-cobhsaí ag léasair DPSS, cobhsaíocht tonnfhad agus cobhsaíocht chumhachta, agus tá sé oiriúnach do dhá mhodh liteagrafaíocht. Dearaimid agus déanaimid léasair aon-minicíochta ardchumhachta a dhearadh agus a bhfuil cobhsaíocht tonnfhad gan sárú acu, leithead líne cúng agus lorg beag thar an raon tonnfhaid d'fhaid thirim fhada -- rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach le haghaidh comhtháthú isteach i gcórais atá ann cheana féin.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
