I lár na 1980idí, chuir Beklemyshev, Allrn agus eolaithe eile teicneolaíocht léasair agus teicneolaíocht glantacháin le chéile le haghaidh riachtanais oibre praiticiúla agus rinne siad taighde gaolmhar. Ó shin i leith, rugadh an coincheap teicniúil maidir le glanadh léasair (Glanadh Léasair). Tá sé ar eolas go maith go bhfuil an gaol idir truailleáin agus foshraitheanna Tá an fórsa ceangailteach roinnte ina bhanna comhfhiúsach, dépholach dúbailte, gníomh ribeach agus fórsa van der Waals. Más féidir an fórsa seo a shárú nó a scriosadh, bainfear amach éifeacht an díghabhála. Is éard atá i gceist le glanadh léasair ná bíomaí léasair a úsáid a bhfuil tréithe dlús fuinnimh mór, treo inrialaithe agus cumas cóineasaithe láidir, ionas go scriostar an fórsa nasctha idir na truailleáin agus an tsubstráit nó go ndéantar na truailleáin a ghalú go díreach chun truailleáin a dhí-éilliú agus a laghdú. An neart nascáil leis an maitrís, agus ansin a bhaint amach ar an éifeacht a ghlanadh an dromchla an workpiece. Nuair a ionsúnn na hábhair salaithe ar dhromchla an phíosa oibre fuinneamh an léasair, déanann siad vaporize go tapa nó a leathnú láithreach tar éis a bheith téite chun an fórsa idir na hábhair salaithe agus dromchla an tsubstráit a shárú. Mar gheall ar an méadú ar fhuinneamh téimh, creathadh na cáithníní éillithe agus titim as dromchla an tsubstráit. Tá an próiseas glantacháin léasair ar fad roinnte go garbh i 4 chéim, is iad sin galú agus dianscaoileadh léasair, stripping léasair, leathnú teirmeach cáithníní truailleán, creathadh dromchla an tsubstráit agus scaradh truailleán. Ar ndóigh, nuair a bhíonn teicneolaíocht glantacháin léasair á gcur i bhfeidhm, ba cheart duit aird a thabhairt freisin ar thairseach glantacháin léasair an ruda atá le glanadh, agus roghnaigh an tonnfhad léasair cuí chun an éifeacht glanadh is fearr a bhaint amach. Is féidir le glanadh léasair struchtúr gráin agus treoshuíomh dromchla an tsubstráit a athrú gan dochar a dhéanamh do dhromchla an tsubstráit, agus is féidir le garbh dromchla an tsubstráit a rialú freisin, rud a fheabhsaíonn feidhmíocht fhoriomlán dhromchla an tsubstráit. Tá tionchar ag an éifeacht glantacháin go príomha ar fhachtóirí mar shaintréithe an bhíoma, paraiméadair fhisiceacha an tsubstráit agus an ábhair salachar, agus cumas an salachar chun fuinneamh an bhíoma a ionsú. Faoi láthair, cuimsíonn teicneolaíocht glantacháin léasair trí mhodhanna glantacháin: teicneolaíocht glantacháin léasair tirim, teicneolaíocht glantacháin léasair fliuch agus teicneolaíocht tonn turraing plasma léasair. 1. Ciallaíonn glanadh tirim léasair go bhfuil an léasair pulsed ionradaithe go díreach chun an workpiece a ghlanadh, ionas go n-ionsúnn an tsubstráit nó ábhar salaithe dromchla fuinneamh agus ardaíonn an teocht, rud a fhágann go dtiocfaidh leathnú teirmeach nó creathadh teirmeach an tsubstráit, rud a scarann an dá rud. Is féidir an modh seo a roinnt go garbh ina dhá chás: is é ceann amháin go n-ionsúnn na hábhair salaithe dromchla an léasair a leathnú; is é an ceann eile go n-ionsúnn an tsubstráit an léasair chun creathadh teirmeach a ghiniúint. 2. Is éard atá i gceist le glanadh léasair fliuch ná scannán leachtach a réamh-chóta ar an dromchla sula ndéantar an workpiece a ionradaíocht le léasair pulsed. Faoi ghníomhaíocht an léasair, ardaíonn teocht an scannáin leachta go tapa agus vaporizes. Gintear tonn turraing i láthair na huaire vaporization, a ghníomhaíonn ar cháithníní truailleán. , Déan é a titim amach as an tsubstráit. Éilíonn an modh seo nach féidir leis an tsubstráit agus an scannán leachtach freagairt, agus mar sin tá raon feidhme na n-ábhar iarratais teoranta. 3. Is tonn turraing plasma sféarúil é an tonn turraing plasma léasair a ghintear tríd an meán aeir a bhriseadh síos le linn an phróisis ionradaíochta léasair. Feidhmíonn an tonn turraing ar dhromchla an tsubstráit a nite agus scaoileann sé fuinneamh chun truailleáin a bhaint; ní ghníomhaíonn an léasair ar an tsubstráit, mar sin ní dhéanann sé damáiste don tsubstráit. Is féidir le teicneolaíocht glantacháin tonnta turrainge plasma léasair ábhair shalaithe cáithníní a ghlanadh anois le méid na gcáithníní de na deich nanaiméadar, agus níl aon teorainn leis an tonnfhad léasair. I dtáirgeadh iarbhír, ba cheart modhanna tástála éagsúla agus paraiméadair ghaolmhara a roghnú go sonrach de réir riachtanais chun píosaí oibre glantacháin ardchaighdeáin a fháil. Sa phróiseas glantacháin léasair, tá an éifeachtúlacht glanadh dromchla agus meastóireacht cháilíochta ina méadracht thábhachtach chun cáilíocht na teicneolaíochta glantacháin léasair a chinneadh.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
